特許
J-GLOBAL ID：200903099069648748
走査像観察方法および走査電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-055076
公開番号（公開出願番号）：特開平5-258700
出願日： 1992年03月13日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】【目的】 光軸に平行な面、あるいは、大きな傾斜角の面の観察を倍率に無関係に常に高分解能で鮮明に得ることができる走査像観察方法および走査電子顕微鏡を実現する。【構成】 操作部14により、試料5の内、光軸に平行、あるいは平行に近い面を観察するモードとした場合、各レンズの結像点の位置は、焦点深度を深くするために制御部13により制御される。まず、第2の集束レンズ3の結像点Qは、対物レンズ4の主面4sの後方(試料側)に移動させられる。この結果、通常の走査電子顕微鏡像の観察モードに比べ、数分の1〜1/10のビーム半径が対物レンズ4の主面4s上で得られる。対物レンズ4は、点Qを虚光源として試料面上に点Qの像を結ぶ。このため、試料に入射する電子ビームの開き角αは、小さくなり、結果として焦点深度は通常の走査電子顕微鏡像観察時に比べ、数倍から1桁大きな値となる。
請求項（抜粋）：
傾斜した試料面に対し、電子ビームを光軸から角度θ偏向し、その状態で微小角度±Δθの範囲を走査し、この走査に応じて試料から得られた信号を表示装置に導き、試料の傾斜面の走査像を表示するようにした走査像観察方法において、観察すべき試料面の傾斜角をφ、人間の目の分解能をr、表示装置の表示領域の幅を2Lとしたとき、試料に入射する電子ビームの開き角αをほぼ、(r/2L)×{1/tan(φ-θ)}≦αα≦2(r/2L)×{1/tan(φ-θ)}(ただし、0<Δθ<<φ-θ)としたことを特徴とする走査像観察方法。
IPC (3件)：
H01J 37/147
, H01J 37/22
, H01J 37/28
