特許
J-GLOBAL ID：200903099071502777
高周波IC測定治具
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-055018
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253702
出願日： 1997年03月10日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】 被測定高周波ICのリードやSパラメータ測定部材の接触状態を良好に保つことにより、高周波特性の測定精度を高めることのできる高周波IC測定治具を提供する。【解決手段】 表面と裏面の対応部位が導電性で、かつ、面の広がり方向に絶縁性であり、試験ボードのパッド電極列の配設領域に載置された導電シートと、試験ボードに導電シートを固定すると共に、試験ボードに配設されたパッド電極列と被測定高周波ICのリードとが導電シートを介して電気的に接続されるように、被測定高周波ICを装入するガイド枠部を有する第1の固定部と、中央部に開口を有し、この開口にガイド枠部を挿通させて導電シートに載置され、導電シートを介して試験ボードに配設されたパッド電極列に対して電気的に接続されるように配設されたSパラメータテスト用のパッド電極列を有するキャリブレーション基板と、ガイド枠部に装入された被測定高周波ICのリード及びキャリブレーション基板のパッド電極列を導電シートに圧力接触させる第2の固定部とを備える。
請求項（抜粋）：
ICテスト装置が接続される試験ボードに配設されたパッド電極列の配設領域に固定され、被測定高周波IC及びSパラメータキャリブレーションのためのキャリブレーション基板の着脱が可能な高周波IC測定治具において、金属繊維でなる多数の導電素子がシート状の絶縁性弾性部材の厚さ方向に貫通し、表面と裏面の対応部位が導電性で、かつ、面の広がり方向に絶縁性であり、前記試験ボードのパッド電極列の配設領域に載置された導電シートと、前記試験ボードに前記導電シートを固定すると共に、前記試験ボードに配設されたパッド電極列と被測定高周波ICのリードとが前記導電シートを介して電気的に接続されるように、被測定高周波ICを装入するガイド枠部を有する第1の固定部と、中央部に開口を有し、この開口に前記ガイド枠部を挿通させて前記導電シートに載置され、前記導電シートを介して前記試験ボードに配設されたパッド電極列に対して電気的に接続されるように配設されたSパラメータテスト用のパッド電極列を有するキャリブレーション基板と、前記ガイド枠部に装入された被測定高周波ICのリードを前記導電シートに圧力接触させ、前記キャリブレーション基板のパッド電極列を前記導電シートに圧力接触させるように前記被測定高周波IC及びキャリブレーション基板を押える第2の固定部と、を備えたことを特徴とする高周波IC測定治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/26 J
, G01R 31/28 J
