特許

J-GLOBAL ID：200903099072089466

ポジ型感光性ポリイミド前駆体組成物

発明者： 田村 一貴 ,  江口 益市 ,  浅野 昌也
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-111666
公開番号（公開出願番号）：特開平6-324493
出願日： 1993年05月13日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【構成】本発明は、ポリイミド前駆体、エチレン性不飽和二重結合およびアミノ基を有する化合物およびイソオキサゾロン化合物を含有するポジ型感光性ポリイミド前駆体組成物である。【効果】本発明におけるポジ型感光性ポリイミド前駆体組成物は容易に製造でき、かつ、現像後、キュアすることにより、性能が優れたポリイミド被膜を得ることができる。

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマ(A)、【化1】(ただし、式中R1 は少なくとも2個の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は少なくとも2個の炭素原子を有する2価の有機基、R3 は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオンまたは炭素数1〜30の有機基を表す。nは1または2である。)(b)エチレン性不飽和二重結合およびアミノ基を有する化合物(B)、および(c)一般式(2)で表されるイソオキサゾロン化合物(C)【化2】(ただし、R4 は炭素数1〜10のアルキル基、炭素数5〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜15のアリール基、炭素数7〜20のアリールアルキル基またはハロゲン原子、R5 、R6 は水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数5〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜15のアリール基、炭素数7〜20のアリールアルキル基、炭素数1〜20のアシル基、カルボン酸、ニトロ基またはハロゲン原子を表す。)を含有することを特徴とするポジ型感光性ポリイミド前駆体組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 ,  C08K 5/353 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/028