インクジェット記録ヘッド及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-039539
公開番号（公開出願番号）：特開平7-246705
出願日： 1994年03月10日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【構成】圧電体素子の下地に緻密なジルコニア薄膜が形成されているインクジェット記録ヘッドの製造において、単結晶シリコン基板上に有機ジルコニウム化合物を加水分解したゾルを塗布し、1200°Cから1400°Cの温度範囲に加熱して安定化した結晶相からなるジルコニア薄膜とした後、圧電体薄膜を積層し高温でアニールすることにより高特性とする。【効果】 700°C以上の高温でアニールを行なっても、鉛の拡散が防止でき、高い圧電ひずみ定数と高いヤング率を持つ圧電体薄膜素子を備えたインクジェット記録ヘッドを提供できた。

請求項（抜粋）：

圧電体素子の下地に緻密なジルコニア薄膜が形成されているインクジェット記録ヘッドの製造において、単結晶シリコン基板上に有機ジルコニウム化合物を加水分解したゾルを塗布し、1200°Cから1400°Cの温度範囲に加熱して安定化した結晶相からなるジルコニア薄膜とした後、圧電体薄膜を積層し高温でアニールすることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-024275
圧電/電歪膜型素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-203831 出願人：日本碍子株式会社
特表平5-504740

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