バキュームチャックプレート

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲本義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-311501
公開番号（公開出願番号）：特開平6-143073
出願日： 1992年10月27日
公開日（公表日）： 1994年05月24日
要約：

【要約】【目的】ワークの段取替時にマスクを必要とせず、ワークを確実にチャックすることができ、安定して高精度の加工を行なえる構造とする。【構成】プレート1のチャック面6に多孔質セラミックス層3を形成し、セラミックス層3の所定の位置に吸気を遮断するエポキシ系樹脂を含浸させて封印部5を設け、封印部5間の吸着部4と外部の真空源とを連通する吸気孔8をプレート1の台金部2内に形成する。

請求項（抜粋）：

工作機械で被加工物を真空吸着により保持するバキュームチャックプレートにおいて、前記プレートのチャック面に形成された多孔質セラミックス層と、前記プレート内に設けられ、前記多孔質セラミックス層と外部の真空源とを連通する吸気孔と、前記多孔質セラミックス層の所定の位置に設けられ、吸気を遮断する封印部とを備えることを特徴とするバキュームチャックプレート。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭60-127935
特開昭62-124844

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