特許

J-GLOBAL ID：200903099079009425

化学反応装置とその反応制御方法、薬液廃棄方法、および薬液供給方法

発明者： 川崎 清弘
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-268500
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120195
出願日： 1992年10月07日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】 食刻精度の低下を防止しながら、薬液の廃棄や交換時にも生産の中断が伴わない反応装置を提供する。【構成】 食刻を行う2つの反応室1-1、1-2には、薬液循環タンク10-1、10-2が、三方弁33-1、33-2で接続されて、タンク10-1、10-2と反応室1-1、1-2との接続状態を三方弁33により適宜切り替え可能に構成されている。【効果】 タンク10と反応室1を2組用意し、タンク10-1、10-2と反応室1-1、1-2との接続状態を切り替え可能とすることにより、反応液の交換寿命期間内における反応速度の低下幅が半減し、例えば食刻反応であれば食刻精度を大幅に向上できる。

請求項（抜粋）：

薬液循環用のポンプとタンクとをそれぞれに有する第1と第2の反応室と、各薬液循環タンクに薬液供給配管と薬液廃棄配管とを備え、前記タンク中の新旧2種類の薬液のうち古い薬液を第1の反応室で、新しい薬液を第2の反応室で使用するように薬液循環系に切り換えバルブを有する化学反応装置。

IPC (6件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  C23F 1/08 101 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/31