特許

J-GLOBAL ID：200903099081630498

熱分解窒化ほう素成形体の製造方法

発明者： 柳沢 勲 ,  久保田 芳宏 ,  原田 今朝治 ,  平田 和人
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-298524
公開番号（公開出願番号）：特開平5-105523
出願日： 1991年10月17日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は基材からの不純物の混入がなく、高い寸法精度をもつ熱分解窒化ほう素成形体の製造方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明による熱分解窒化ほう素成形体の製造方法は、アンモニアとハロゲン化ほう素とを熱分解反応させて基体上に生成物を析出させる熱分解窒化ほう素成形体の製造方法において、熱分解窒化ほう素を析出させる基体として熱分解グラファイトまたは熱分解グラファイトをコートしたグラファイト基体を使用することを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

アンモニアとハロゲン化ほう素とを熱分解反応させて基体上に生成物を析出させる熱分解窒化ほう素成形体の製造方法において、熱分解窒化ほう素を析出させる基体として熱分解グラファイトまたは熱分解グラファイトをコートしたグラファイト基体を使用することを特徴とする熱分解窒化ほう素成形体の製造方法。

IPC (7件)：

C04B 35/58 103 ,  C01B 21/064 ,  C04B 41/87 ,  C04B 41/89 ,  C23C 16/02 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/34

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-230507
  
• 特開昭62-072505
  
• 特開昭60-255676