特許
J-GLOBAL ID：200903099089579840
除電装置用放電電極とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-340386
公開番号（公開出願番号）：特開平5-152054
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：
【要約】【目的】放電電極の消耗を減らすとともに、放電電極の交換の間隔を長くする。【構成】珪素からなる棒状の芯材11と、珪素を含浸させた多孔質の炭化珪素からなる中空円筒状の母材12とから放電電極10Aを構成する。芯材11は、その軸部11aを母材12の中空部に収容させ、半球状の突出部11bを母材12の先端部12aより外側に突き出している。コロナ放電は突出部11bの先端から起こる。珪素は共有結合なので、コロナ放電による突出部11bの消耗が非常に少ない。突出部11bの基端外径を母材12の先端部12aの外径と同径にすることで、突出部11bの先端から母材12の先端までの距離が長くなり、突出部11bの消耗による放電電極の交換の間隔が長くなる。又、コロナ放電によって芯材11から微量の珪素が遊離したとしても、珪素は半導体結晶に悪影響を及ぼさないので、半導体工場のクリーンルームでの使用に好適である。
請求項（抜粋）：
高電圧を印加して周囲の雰囲気をイオン化する除電装置用放電電極において、珪素からなる棒状の芯材と、珪素とほぼ同等の熱膨張率を有する材料で形成され上記芯材の外周を覆う筒状の母材、とから構成されており、芯材の先端には母材の先端部よりも前方に突き出る突出部が形成され、この突出部の基部の外形形状及び寸法が母材の先端部の外形形状及び寸法とほぼ同じにされ、突出部の先端に接近するにしたがって突出部の断面が漸次縮小することを特徴とする除電装置用放電電極。
IPC (2件)：
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