特許

J-GLOBAL ID：200903099090628790

回転機構

発明者： 佐藤 友宏 ,  滝沢 芳治
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-309990
公開番号（公開出願番号）：特開平6-155213
出願日： 1992年11月19日
公開日（公表日）： 1994年06月03日
要約：

【要約】【目的】回転中心に対する基板の偏心を無くしかつ基板の飛散を防止することにより高速回転が可能な回転機構を与えること。【構成】基板を保持するチャックを基板の自重およびテーブル回転時の遠心力で転角する構造とする。このチャックの転角を利用して基板の積載位置を修正するとともにチャックの転角によりチャックの一部であるツメが基板の上部に位置することにより基板の飛散を防止することができる。このように基板の積載動作およびテーブルの回転による遠心力を利用して基板の偏心を無くしかつ基板の飛散を防止することにより高速回転が可能になる。

請求項（抜粋）：

基板を回転させる回転機構において回転テーブル上に基板を積載すると、基板の自重によりチャックが基板を保持する位置に転角することを特徴とする回転機構。

IPC (7件)：

B23Q 3/12 ,  B08B 11/02 ,  G11B 17/028 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 361 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 361 C ,  H01L 21/30 361 L