特許

J-GLOBAL ID：200903099092963715

イメージセンサ及びその製造方法

発明者： 李 敬 洛
出願人/特許権者： 株式会社ハイニックスセミコンダクター
代理人 (1件)： 笹島 富二雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-077517
公開番号（公開出願番号）：特開2002-118246
出願日： 2001年03月19日
公開日（公表日）： 2002年04月19日
要約：

【要約】【課題】 光を感知してイメージデータを生成するイメージセンサにおいて、カラーフィルタへのスカムの形成を防止し、かつ隣接するカラーフィルタ間のオーバラップの発生を防止する。【解決手段】 感光素子を備えた半導体構造体と、前記半導体構造体上にて第1窒化膜NL1と第1酸化膜OL1とから構成された第1カラーフィルタCFと、染色されたフォトレジストからなり前記第1カラーフィルタCFと隣接して形成された第2カラーフィルタGFと、前記第1カラーフィルタCF及び第2カラーフィルタGFとオーバラップしない領域にて第2窒化膜NL2と第2酸化膜OL2とから形成された第3カラーフィルタYFと、を含んで構成される。これにより、カラーフィルタへのスカムの形成を防止し、かつ隣接するカラーフィルタ間のオーバラップの発生を防止することができる。

請求項（抜粋）：

感光素子を備えた半導体構造体と、前記半導体構造体上にて第1窒化膜と第1酸化膜とから構成された第1積層膜が繰り返し形成された第1カラーフィルタと、染色されたフォトレジストからなり前記第1カラーフィルタと隣接して形成された第2カラーフィルタと、前記第1カラーフィルタ及び第2カラーフィルタとオーバラップしない領域にて第2窒化膜と第2酸化膜とから構成された第2積層膜が繰り返し形成された第3カラーフィルタと、を含んで成ることを特徴とするイメージセンサ。

IPC (4件)：

H01L 27/14 ,  G02B 5/20 101 ,  H04N 5/335 ,  H04N 9/07

FI (4件)：

G02B 5/20 101 ,  H04N 5/335 V ,  H04N 9/07 D ,  H01L 27/14 D

Fターム (29件)：

2H048BA02 ,  2H048BA45 ,  2H048BA47 ,  2H048BB02 ,  2H048BB03 ,  2H048BB06 ,  2H048BB13 ,  2H048BB22 ,  2H048BB47 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118CA34 ,  4M118CB13 ,  4M118EA01 ,  4M118FA06 ,  4M118GC09 ,  5C024CX37 ,  5C024CY47 ,  5C024DX01 ,  5C024EX52 ,  5C024GX02 ,  5C024GY31 ,  5C065BB42 ,  5C065CC01 ,  5C065DD17 ,  5C065EE05 ,  5C065EE06