特許

J-GLOBAL ID：200903099109012728

円板形ワークの洗浄装置

発明者： 照 井 善 信 ,  佐 藤 博 司 ,  水 野 憲 明
出願人/特許権者： スピードファムクリーンシステム株式会社
代理人 (1件)： 林 宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-326973
公開番号（公開出願番号）：特開2001-137790
出願日： 1999年11月17日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：

【要約】【課題】 複数のワークを同時に洗浄処理することができる効率的で生産性に勝れたローラー式の洗浄装置を得る。【解決手段】 キャリヤ10に縦向きかつ一定間隔に並べた状態に保持されたワーク列の中から、洗浄すべき複数のワークWを、複数の持上アーム21a,21bにより複数枚おきに抽出して高さが高低交互に異なる各々の洗浄位置まで持ち上げ、持ち上げられた各ワークWを、回転する一対の洗浄ローラー3a,3bによりそれぞれ両側から挟持し、該洗浄ローラー3a,3bの回転力により駆動ベルト34に押し付けてこの駆動ベルト34で強制回転させながら、上記洗浄ローラー3a,3bにより洗浄液2中でスクラブ洗浄し、同様の工程を複数回繰り返すことによりキャリヤ10中のワークを洗浄する。

請求項（抜粋）：

円板形をした複数のワークを縦向きかつ一定間隔に並べた状態に保持するキャリヤと、該キャリヤに保持されたワークを順次複数枚ずつ抽出してスクラブ洗浄する洗浄部と、上記キャリヤをワークの列方向に一定間隔ずつ間欠的に変移させる間欠送り機構とを有し、上記洗浄部が、キャリヤに保持されたワーク列の中から洗浄すべき複数のワークを複数枚おきに抽出して各々の洗浄位置まで持ち上げる持上機構と、上記各洗浄位置にそれぞれ設けられ、持ち上げられたワークの上部外周に接触して該ワークを軸線の回りに強制的に回転させる駆動手段と、上記各洗浄位置にそれぞれ一対ずつ設けられ、回転する各ワークを両面から挟持して洗浄する駆動回転自在の洗浄ローラーとを有する、ことを特徴とする円板形ワークの洗浄装置。

IPC (3件)：

B08B 3/04 ,  B08B 1/02 ,  H01L 21/304 644

FI (3件)：

B08B 3/04 B ,  B08B 1/02 ,  H01L 21/304 644 E

Fターム (22件)：

3B116AA03 ,  3B116AB01 ,  3B116AB33 ,  3B116AB42 ,  3B116BA08 ,  3B116BA15 ,  3B116BB03 ,  3B116CD22 ,  3B201AA03 ,  3B201AB01 ,  3B201AB33 ,  3B201AB42 ,  3B201BA08 ,  3B201BA15 ,  3B201BB04 ,  3B201BB87 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201BB94 ,  3B201CB01 ,  3B201CB23 ,  3B201CD22