特許
J-GLOBAL ID：200903099110972360
投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-217087
公開番号（公開出願番号）：特開平5-055112
出願日： 1991年08月28日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：
【要約】【目的】 補正レンズ等を出し入れすることなく常に高精度にアライメントができるようにすると共に、ウェハ上のアライメントマークをパターン領域により近接させることができるようにする。【構成】 レチクル33を透過して投影レンズ4に入射する露光用の照明光IL1の内、その投影レンズ4の瞳面の周辺部分を通る光束を遮蔽すると共に、アライメント用のレーザビームLBA,LBBを一定量だけ偏向させて通過させる作用を有する回折格子27a1,27a2が形成されたアパーチャ板24を、その瞳面に配置する。そのアパーチャ板24の回折格子の偏向作用によりそれらレーザビームLBA,LBBをそのウェハ2上の回折格子36Y1に照射する。
請求項（抜粋）：
所定のパターンが形成されたマスクを露光用の第1照明光で照射する露光用照明系と、該第1照明光のもとで前記マスクのパターン領域の像を感光基板上にテレセントリックな条件で結像する投影光学系と、前記感光基板上に形成されたアライメント用のマークに前記投影光学系を介して、前記第1照明光と異なる波長の第2照明光を照射し、前記マークから生じた光情報を前記投影光学系を介して検知するアライメント手段とを備えた装置において、前記マスクから発生して前記投影光学系に入射する前記第1照明光の内、前記投影光学系の瞳面の周辺部分を通る光束を遮蔽すると共に、前記第2照明光を一定量だけ偏向させて通過させる作用を有する遮蔽領域が形成されたアパーチャ板を、前記瞳面又はその近傍に配置し、前記アライメント手段として、前記アパーチャ板の遮蔽領域に前記第2照明光が向かうように前記第2照明光を射出するアライメント用照明系と、前記アパーチャ板の遮蔽領域で偏向されて前記感光基板に向かう前記第2照明光によって前記アライメント用のマークが照射されたとき、該マークから生じた光情報を前記アパーチャ板の遮蔽領域を介して前記マスク側で光電変換するマーク検出系とを設けた事を特徴とする投影露光装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, G03F 7/22
, G03F 9/00
, H01L 21/68
