特許
J-GLOBAL ID：200903099112333632
露光工程の診断方法および露光工程の制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-043183
公開番号（公開出願番号）：特開2001-237287
出願日： 2000年02月21日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】 生産を続けながら、露光装置の不具合箇所を検知、抽出すること。また、ロット内合わせ変動を反映した適正な補正値の算出を、合わせ検査頻度を上げることなく行うこと。【解決手段】 露光装置およびマスク、ウエハの情報、露光より前の処理工程の情報、および露光装置の計測結果を独立変数に、露光後の合わせ測定値を従属変数として、それらの全ての項目の組み合わせの相関をF検定で定量的に評価し、不具合に対する診断情報を与える。さらに、上記で抽出した相関のある変数に対する1次近似式で補正値を算出し、露光装置にフィードバックする。
請求項（抜粋）：
露光工程の診断方法であって、露光装置およびマスク、ウエハの情報である第1の情報と、露光より前の処理工程の情報である第2の情報と、露光装置の計測結果である第3の情報と、露光後の合わせの測定結果である第4の情報とを収集するステップと、前記第1、第2、第3の情報のいずれかと前記第4の情報の相関の強さを判定するステップと、前記相関の強さから露光装置または露光工程に関連する不具合を診断するステップと、前記相関の強さ、および不具合の候補を表示するステップとを、有することを特徴とする露光工程の診断方法。
IPC (4件)：
H01L 21/66
, G06F 17/50
, H01L 21/027
, H01L 21/68
H01L 21/66 J
, H01L 21/66 Z
, H01L 21/68 F
, G06F 15/60 658 M
, H01L 21/30 502 V
4M106AA09
, 4M106CA50
, 4M106DH03
, 4M106DJ19
, 4M106DJ21
, 5B046AA08
, 5B046BA04
, 5B046DA01
, 5B046GA01
, 5B046JA01
, 5F031CA02
, 5F031CA07
, 5F031MA27
