特許
J-GLOBAL ID:200903099113123631
フーリエ変換を用いた縞解析方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
川野 宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-037777
公開番号(公開出願番号):特開2001-227907
出願日: 2000年02月16日
公開日(公表日): 2001年08月24日
要約:
【要約】【目的】 フーリエ変換を行う前に、縞画像データに対して、この縞画像データのデータ有効領域に応じた窓関数を乗算することで、データ有効領域の解析結果を誤差の少ない良好なものとする。【構成】 S4において部分窓関数であると決定された場合には、四角形状(S5)、円盤状(S7)、リング状(S9)、開口部を中央に有する四角形状(S11)のいずれかを被観察物の干渉縞画像データの形状に応じて決定する。四角形状とした場合には、四角形状のX-Y方向部分窓関数(S6)、円盤状のものとした場合には、円盤状の半径方向部分窓関数(S8)、リング状のものとした場合には、半径方向リング型部分窓関数(S10)、開口部を中央に有する四角形状のものとした場合には、X-Y方向リング型部分窓関数(S12)を各々選択し、干渉縞画像データに乗算した後、縞画像のフーリエ変換処理を行う(S18)。
請求項(抜粋):
被観察体の形状情報を担持した縞画像データにフーリエ変換を施して該被観察体の形状を求めるフーリエ変換を用いた縞解析方法において、該フーリエ変換を行う前に、前記縞画像データに対して、この縞画像データのデータ有効領域に応じた窓関数を乗算することを特徴とするフーリエ変換を用いた縞解析方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (20件):
2F064AA09
, 2F064CC04
, 2F064GG12
, 2F064GG22
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064JJ01
, 2F064JJ15
, 2F065AA53
, 2F065AA54
, 2F065DD03
, 2F065FF52
, 2F065HH03
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL12
, 2F065LL46
, 2F065QQ16
, 2F065QQ36
, 2F065SS13
引用特許:
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