特許

J-GLOBAL ID：200903099115020783

蛍光装置およびこれを用いた撮像装置並びに検査装置

発明者： 高口 雅成 ,  柿林 博司 ,  大島 徹也 ,  鮫島 賢二 ,  牧島 達男 ,  兼堀 恵一 ,  品田 博之
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-016607
公開番号（公開出願番号）：特開平11-213933
出願日： 1998年01月29日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】 入射粒子線像-光像変換のための蛍光体における荷電粒子線の散乱を、蛍光体に外部より電界を印加することにより抑え、高発光量を維持しつつ解像度、S/Nの低下を防ぐ。【解決手段】 蛍光体の電子線入射面と蛍光出射面に電極を設け、電極間に電圧を印加する。【効果】 解像度、S/Nの低下の大きな影響をおよぼす低エネルギー荷電粒子線の入射位置からの散乱による外れ量を抑え、上記目的を達成。

請求項（抜粋）：

粒子線を透過する第1の電極と、前記第1の電極に接して設けられた蛍光体と、前記蛍光体で粒子線によって光線出射される面に第2電極を設けたことを特徴する蛍光装置。

IPC (3件)：

H01J 37/244 ,  H01J 31/50 ,  H01J 37/28

FI (3件)：

H01J 37/244 ,  H01J 31/50 Z ,  H01J 37/28 B