特許
J-GLOBAL ID：200903099125778447
走査型プローブ顕微鏡のZ変位検出機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-288710
公開番号（公開出願番号）：特開平9-133690
出願日： 1995年11月07日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：
【要約】【課題】補正手段を用いることなく、Z方向に歪みのないSPM像を得ることのできる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】静電容量センサー15は、アーム2aに固定されたアーム15aの下端部に固定されている。アーム15aは円筒型圧電体スキャナー2の内側を中心軸に沿って延びている。アーム15aは、プレート15bに固定ビス15cにより固定されている。アーム15aは固定ビス15cを緩めることで移動可能となり、これによりZ方向の位置を調整することができる。プレート15bは固定ビス17によりアーム2aに固定されており、その際、傾き調整ビス18によりアーム2aに対する傾きが調整される。アーム15aの下端の静電容量センサー15は、ヘッド3の上面に設けられたハーフミラー16に平行に配置される。ハーフミラー16はガラスに金属薄膜を蒸着により形成して作られている。
請求項（抜粋）：
プローブまたは試料の一方を保持する移動体と、移動体を微動させる円筒型圧電体スキャナーとを有する走査型プローブ顕微鏡のためのZ変位検出機構であり、円筒型圧電体スキャナーの内側に配置された、移動体のZ方向の変位を検出するための静電容量センサーと、移動体に固定された、静電容量センサーのターゲットとなる、金属膜を蒸着して形成されたハーフミラーとを有していることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡のZ変位検出機構。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 37/00 C
, G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
