特許

J-GLOBAL ID：200903099128340833

蒸着めっき用金属蒸気量の測定方法及び測定装置

発明者： 田中 宏 ,  福居 康 ,  斎藤 実
出願人/特許権者： 日新製鋼株式会社
代理人 (1件)： 小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-009487
公開番号（公開出願番号）：特開平10-204623
出願日： 1997年01月22日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：

【要約】【課題】 測定光に到達する金属蒸気量を減らし、案内ダクトを通過する金属蒸気量を高精度で且つ応答性良く測定する。【解決手段】 金属蒸発源から被めっき鋼帯に金属蒸気を導く案内フード内に一端が開口し、他端が蒸気量測定装置7内に開口した蒸気取出し管6を介して案内フードから蒸気量測定装置7の前室16に金属蒸気3を導く。金属蒸気3の一部を遮蔽板14に設けた蒸気通過孔15を経て蒸気量測定装置7の後室17に導き、後室17に流入した金属蒸気3に測定光9を照射し、金属蒸気3に吸収された光量から金属蒸気量を求める。前室16及び後室17は、それぞれに設けた真空ポンプ18,19で排気される。測定光9に至る金属蒸気量は、遮蔽板14の配置枚数,蒸気通過孔15の口径,開口位置等により吸光度が飽和する蒸気量よりも少なくできる。

請求項（抜粋）：

金属蒸発源から被めっき鋼帯に金属蒸気を導く案内フード内に一端が開口し、他端が蒸気量測定装置内に開口した蒸気取出し管を介して案内フードから蒸気量測定装置の前室に金属蒸気を導き、該金属蒸気の一部を遮蔽板に設けた蒸気通過孔を経て蒸気量測定装置の後室に導き、後室に流入した金属蒸気に測定光を照射し、金属蒸気に吸収された光量から金属蒸気量を求める蒸着めっき用金属蒸気量の測定方法。