基板保持具、基板の保持方法および基板保持具を用いた液晶表示素子の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：佐々木晴康 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-347578
公開番号（公開出願番号）：特開2002-154647
出願日： 2000年11月15日
公開日（公表日）： 2002年05月28日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】従来の真空吸着による基板支持体は、基板との間に少しでも隙間が生じると吸着力がしだいに弱まり、基板が脱落する問題があった。また、基板と基板支持体の間に例えばガラス屑などの異物が介在すると、異物が起点となって基板に局部的な加重が加わり破損するおそれがあった。【解決手段】本発明の基板保持具は、基板3を保持するための吸着板2と、吸着板に形成された複数の細孔4と、細孔より大径であり樹脂等で仮封止される通気口5と、液体8を貯蔵した空隙部7とを有し、複数の細孔及び通気口が空隙部に連通している。また、本発明の基板の保持方法は、吸着板の複数の細孔を覆うように基板を載置し、空隙部に貯蔵した液体を加熱し、基板と吸着板との間に細孔から液体膜10を浸出させ、その液体膜の表面張力により基板を吸着板に吸着保持する。

請求項（抜粋）：

基板を保持するための吸着板と、吸着板に形成された複数の細孔と、細孔より大径であり樹脂等で仮封止される通気口と、液体を貯蔵した空隙部とを有し、複数の細孔及び通気口が空隙部に連通していることを特徴とする基板保持具。

IPC (3件)：

B65G 49/06 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333

FI (3件)：

B65G 49/06 A , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333

Fターム (6件)：

2H088FA01 , 2H088FA30 , 2H088MA20 , 2H089JA11 , 2H089QA16 , 2H089TA01

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