特許
J-GLOBAL ID:200903099137435944

保護膜

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-307767
公開番号(公開出願番号):特開2000-123348
出願日: 1993年11月19日
公開日(公表日): 2000年04月28日
要約:
【要約】【課題】 磁気特性および信頼性の高い記録再生装置を得ることを課題とする。【解決手段】 磁気記録媒体にDLCからなる保護膜を形成し、磁気記録媒体の表面の中心線平均粗さを30nm以下とすることにより磁気特性と信頼性の向上が果たせた。
請求項(抜粋):
基板上に形成されたダイヤモンドライクカーボンからなる保護膜において、前記保護膜は4族から選ばれた少なくとも1つの元素を含有し、前記保護膜の第一の領域における前記元素の濃度は、前記保護膜の第二の領域における前記元素の濃度よりも高く、前記第一の領域は前記第二の領域よりも前記基板に近いことを特徴とする保護膜。
IPC (2件):
G11B 5/72 ,  C23C 16/27
FI (2件):
G11B 5/72 ,  C23C 16/27
引用特許:
審査官引用 (7件)
  • 特開平4-313812
  • 特開平4-040626
  • 特開平3-019120
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