特許
J-GLOBAL ID：200903099155902819
回転速度を感知するためのマイクロマシン化された速度センサシステム、および寄生駆動電圧を最小にする方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-251010
公開番号（公開出願番号）：特開平8-114461
出願日： 1995年09月28日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【課題】 速度感知システムで寄生駆動電圧貫通を最小にする装置および方法を提供する。【解決手段】 マイクロマシン化された速度センサシステムは、複数の静電コームに結合された複数の検定質量またはプレートを含む。コーム駆動増幅器は感知プレートの偏向を誘起する。モータコームは、コーム駆動増幅器を半周波数モータ発振器に結合することで半NRFで駆動される。半周波数モータ発振器は半NRFで駆動電圧を提供する。したがって、実施例はモータ周波数で不所望な寄生駆動貫通を除去し、効率を高める。
請求項（抜粋）：
寄生駆動電圧が最小にされる、駆動電圧結合を除去する一方で回転速度を感知するためのシステムであって、少なくとも1つの検定質量と、検定質量に結合された少なくとも1つのばねとを含み、ばねと検定質量とのアセンブリは関連した自然共振周波数(NRF)を有し、このシステムは、各検定質量に静電気的に関連し、結合された複数のコームと、複数のコームに結合され、関連したコームに関した平面で各検定質量の運動を誘起するための駆動手段とを含み、駆動手段は関連した駆動モータ自然共振周波数を有し、検定質量およびコームの配置は、検定質量が運動する平面に平行である感知軸を規定し、さらに、コームは関連したNRFの半分で駆動され、このシステムは、速度センサシステムが感知軸の周りを回転するときの検定質量の運動を感知するための感知手段を含み、検定質量の運動はコームに関した検定質量の偏向によって規定され、このシステムはさらに、検定質量の偏向を測定し、回転速度を決定するための測定手段を含む、システム。
IPC (2件)：
引用特許：
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