特許

J-GLOBAL ID：200903099159431039

設備フロ-の異常抽出装置、設備フロ-の異常抽出方法、及び設備フロ-の異常抽出プログラムを記録した記憶媒体

発明者： 田中 昌行 ,  小河 克之 ,  下田 利一
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 東島 隆治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-377243
公開番号（公開出願番号）：特開2000-198051
出願日： 1998年12月29日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】 プロセス加工工程における製造装置の設備フローを含む製造設備履歴に起因する品質低下の要因を迅速に抽出することのできる設備フローの異常抽出装置、設備フローの異常抽出方法、及び設備フローの異常抽出方法を記録した記憶媒体を提供することを目的とする。【解決手段】 プロセス加工工程における設備フローの異常抽出装置は、入力装置1により設備フローの異常を抽出するために必要なパラメータを入力し、中央処理装置3において品質結果情報及び製造装置履歴情報とに基づき多段階多変量解析を行い、設備フローの異常を抽出し、その抽出結果を表示装置や印字装置等の出力装置5から出力するよう構成されている。

請求項（抜粋）：

プロセス加工工程により製造された製品の品質結果情報と当該製品の製造設備履歴情報とを入力する入力装置、前記品質結果情報と前記製造設備履歴情報との因果関係を多段階多変量解析手段により解析し、設備フローの異常を抽出する中央処理装置、前記品質結果情報と前記製造設備履歴情報と前記中央処理装置による解析結果とを記憶する記憶装置、前記中央処理装置において解析された結果を出力する出力装置、を具備することを特徴とする設備フローの異常抽出装置。

IPC (5件)：

B23Q 41/08 ,  G05B 15/02 ,  G06F 17/60 ,  H01L 21/02 ,  G05B 23/02 301

FI (5件)：

B23Q 41/08 Z ,  H01L 21/02 Z ,  G05B 23/02 301 V ,  G05B 15/02 Z ,  G06F 15/21 R

Fターム (36件)：

3C042RH01 ,  3C042RJ08 ,  3C042RJ20 ,  3C042RL11 ,  5B049BB07 ,  5B049CC21 ,  5B049CC31 ,  5B049EE03 ,  5B049EE05 ,  5B049EE56 ,  5B049EE59 ,  5B049FF02 ,  5B049FF03 ,  5B049FF04 ,  5B049FF07 ,  5H215AA06 ,  5H215AA20 ,  5H215BB12 ,  5H215BB20 ,  5H215CC05 ,  5H215CX01 ,  5H215GG09 ,  5H215HH03 ,  5H215JJ14 ,  5H215JJ16 ,  5H223AA01 ,  5H223AA05 ,  5H223AA20 ,  5H223CC08 ,  5H223DD03 ,  5H223EE06 ,  5H223FF06 ,  9A001BB05 ,  9A001GG03 ,  9A001GG05 ,  9A001JJ45