特許

J-GLOBAL ID：200903099170888865

垂直空洞面発光レーザ及びその製造方法

発明者： スコット・ダブリュー・コージン ,  リチャード・ピー・シュネイダー,ジュニア ,  マイケル・アール・ティー・タン
出願人/特許権者： ヒューレット・パッカード・カンパニー
代理人 (1件)： 上野 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-218889
公開番号（公開出願番号）：特開平11-103129
出願日： 1998年08月03日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：

【要約】【課題】垂直空洞面発光レーザ(VCSEL)の構造と製造方法を改良する。【解決手段】本発明は上部電極が設けられた、ほぼ平面をなす上部表面を備えるVCSELである。該VCSELには、上部電極と、上部表面を備える上部ミラーと、発光領域と、上部ミラーに向かって光を反射する下部ミラーが含まれている。ミラーの少なくとも1つには、屈折率の異なる複数の導電層が含まれている。さらに、前記層の少なくとも1つには、酸化可能材料が含まれている。この層を酸化剤に曝露するため(それによって、前記材料が電気絶縁体に変わる)、エッチングによって、VCSELの上部表面から酸化される層に達する、3つ以上の穴が形成される。次に、酸化剤がこれらの穴の上部に注入される。前記層の部分的酸化によって、前記層は、上部電極の下に位置し、電気絶縁領域に囲まれた導電性領域を備える層に変わる。

請求項（抜粋）：

上部電極と、上部表面を備えた上部ミラーと、発光領域と、光を前記上部ミラーに向かって反射する下部ミラーとを備え、前記上部ミラーと前記下部ミラーの少なくとも一方が、複数の導電性平面層から成り、前記層の少なくとも1つが、その層に隣接する層とは異なる屈折率を備えており、前記層の第1の層が、酸化剤に曝露すると酸化し、その結果、電気絶縁体に変わる酸化可能材料から構成され、さらに、下部電極と、前記上部表面を前記層の前記第1の層に接続して、前記層の前記第1の層を前記酸化剤にさらすための第1、第2、及び、第3のエッチングによる穴を有し、前記曝露によって、電気絶縁領域によって囲まれた導電性領域を発生させ、前記導電性領域を前記上部電極の下に位置させたことを特徴とする垂直空洞面発光レーザ。