特許
J-GLOBAL ID：200903099185736298
HgCdTe薄膜結晶の組成評価法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-272045
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079972
出願日： 1991年09月24日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：
【要約】【目的】 HgCdTe薄膜結晶を用いた検出器を試作する際、同結晶のCd組成を事前に評価し、かつその組成値が同結晶を用いて試作した検出器の分光感度曲線から求めた組成値と一致する方法を提供する。【構成】 Hg1-XCdXTe薄膜結晶の室温θでの透過曲線において、同曲線をスムース化し、透過率T=Tmax(最大透過率)の直線と0.5Tmaxを与える波数での透過曲線の接線との交点の波数σ1(cm-1)を読み取り、同波数と次式によりCd組成xを計算する。σ1=-2435.5+15564.5(x-β)+4.3145[1-2(x-β)]θ-6532.26(x-β)2+6709.68(x-β)3ここで、θは絶対温度及びβ=0.012±0.005である。【効果】 本発明により、同結晶を用いた検出器を試作する際、同結晶のCd組成を事前に評価でき、かつその組成値が同検出器の分光感度曲線から求めた組成値と一致する方法を提供することができた。
請求項（抜粋）：
透過曲線のスムース化処理と、波数の読み取り処理と、Cd組成の計算処理とを有するHgCdTe薄膜結晶の組成評価法であって、透過曲線のスムース化処理は、Hg1-XCdXTe薄膜結晶の透過曲線の干渉パターンを除去することによって同曲線をスムース化する処理であり、波数の読み取り処理は、スムース化された前記透過曲線から吸収係数α=500cm-1を与える波数σ0(cm-1)を読み取る処理であり、Cd組成の計算処理は、読みとられた前記波数σ0と公式の経験式σ0=-2435.5+15564.5x+4.3145(1-2x)θ-6532.26x2+6709.68x3ただし、θは絶対温度、とからCd組成xを算出する処理であることを特徴とするHgCdTe薄膜結晶の組成評価法。
IPC (2件)：
引用特許：
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