特許
J-GLOBAL ID：200903099191106298
異物検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-217739
公開番号（公開出願番号）：特開平5-055332
出願日： 1991年08月29日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：
【要約】【目的】 ウエハに付着する異物の検出感度を向上させ、ウエハに合った最適な条件で異物検査を行うことができる異物検査装置を提供する。【構成】 回路パターンが形成されたウエハの異物検査装置とされ、ウエハ1に対してレーザ光を照射するレーザ2と、レーザ光の照射によりウエハ1から反射する反射光を検出するセンサ3と、レーザ2の設置角度を可変し、かつレーザ2をXY軸方向へ移動させる駆動部4と、センサ3の検出データを処理するデータ処理部5とから構成されている。そして、駆動部4によってレーザ2が最適な設置角度θに自動設定された後、レーザ2からウエハ1に照射されたレーザ光が、異物6による反射光としてセンサ3によって検出される。
請求項（抜粋）：
被検査物に対して照明光を照射する照明手段と、該照明光の照射により前記被検査物から反射する反射光を検出する検出手段とを備え、前記被検査物に付着した異物を検知する異物検査装置であって、前記照明手段に該照明手段の設置角度が所定の角度範囲内で可変できる駆動機構を連結し、該駆動機構により前記照明手段による照射光の入射角度を任意の角度に設定することを特徴とする異物検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01N 21/88
, H01S 3/00
