位置決め装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田村敬二郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-161679
公開番号（公開出願番号）：特開2002-349717
出願日： 2001年05月30日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】筐体の変形に関わらず、精度の良い位置決めを達成し、すなわち軽量化と高精度位置決めとを両立できる位置決め装置を提供する。【解決手段】筐体20に設けられた開口20aを介して外部と連通したプロセス室Pが差動排気シール60でシールされた位置決め装置10は、プロセス室P内に配置された第1テーブル41と、第1テーブル41に対して開口20aを介して接続され、第1テーブル41を筐体20の外部から移動させる第1の移動部40と、筐体20と第1の移動部40との間に配置された中間部材30と、を有し、中間部材30と第1の移動部40との間は、差動排気シール60により密封されており、中間部材30と筐体20との間は、筐体20の変形を吸収するO-リング21により密封されているので、筐体20が変形したとしても、密封状態を維持したままO-リング21がその変形を吸収することができ、例えば筐体20外部の定盤Aなどの表面を基準面とすることで、精度の良い位置決めを達成できる。

請求項（抜粋）：

筐体に設けられた開口を介して外部と連通したプロセス室が差動排気シールでシールされた位置決め装置において、前記プロセス室内に配置された第1テーブルと、前記第1テーブルに対して前記開口を介して接続され、前記第1テーブルを前記筐体の外部から移動させる第1の移動部と、前記筐体と前記第1の移動部との間に配置された中間部材と、を有し、前記中間部材と前記第1の移動部との間は、前記差動排気シールにより密封されており、前記中間部材と前記筐体との間は、前記筐体の変形を吸収する変形吸収手段により密封されている位置決め装置。

IPC (4件)：

F16J 15/40 , G12B 5/00 , H01L 21/027 , F16C 32/06

FI (4件)：

G12B 5/00 T , F16C 32/06 A , F16J 15/40 C , H01L 21/30 515 G

Fターム (18件)：

2F078CA01 , 2F078CA08 , 2F078CB13 , 3J042AA02 , 3J042BA03 , 3J042CA08 , 3J042CA17 , 3J102AA02 , 3J102BA05 , 3J102BA12 , 3J102CA11 , 3J102CA32 , 3J102EA02 , 3J102EA24 , 3J102GA07 , 5F046CC01 , 5F046CC03 , 5F046CC17

引用特許：

審査官引用 (1件)

XYステージ機構及び露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-273889 出願人：京セラ株式会社

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