特許
J-GLOBAL ID:200903099204023273

顕微鏡ステージ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-253425
公開番号(公開出願番号):特開平11-095123
出願日: 1997年09月18日
公開日(公表日): 1999年04月09日
要約:
【要約】【課題】本発明は、位置決め精度を高めることができるとともに、電動移動と手動移動のモード切換えを可能にした顕微鏡ステージを提供する。【解決手段】Yステージ1は、Yクラッチ部9を介してYボールネジ7に、Xステージ2は、Xクラッチ部12を介してXボールネジ10にそれぞれ接続され電動移動されるようになっていて、手動操作用ハンドル13の切換えスイッチ14の動作によりYクラッチ部9およびXクラッチ部12による接続が解除され電動移動モードを手動移動モードに切換えできるようになっている。
請求項(抜粋):
直交する方向にそれぞれ移動可能なYステージおよびXステージと、これらYステージおよびXステージの移動方向の側縁に対応して各別に配置される電動駆動可能なYボールネジおよびXボールネジと、これらYボールネジおよびXボールネジに各別に前記YステージおよびXステージを接続可能にして、これらYステージおよびXステージを電動移動させるクラッチ手段と、手動操作指令により前記YボールネジおよびXボールネジと前記YステージおよびXステージとの間の前記クラッチ手段による接続を解除する制御手段とを具備したことを特徴とする顕微鏡ステージ。

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