特許

J-GLOBAL ID：200903099205597818

有機系蒸着物質による成膜方法

発明者： 野村 文保 ,  田之上 哲郎
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-139770
公開番号（公開出願番号）：特開2000-328231
出願日： 1999年05月20日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：

【要約】【課題】本発明は、有機膜系物質を加熱し、蒸発せしめる成膜方法において、該有機系物質を均一に均等に加熱し、安定的に、失敗なく、その再現性を実現する有機系蒸発物質による成膜方法を提供する。【解決手段】成膜対象基材に、有限量の有機系物質を抵抗加熱方式で加熱し蒸発させる成膜方法において、該抵抗加熱方式における抵抗加熱ボートの形状が、その有機系物質を含む蒸着物質を周辺から加熱する形状をしており、該蒸着物質の外寸の20%以上の距離をおいた外周から加熱させる有機系蒸着物質による成膜方法である。また抵抗加熱ボートの形状が、該有機系物質を含む蒸着物質を周辺から加熱する形状をしており、該蒸着物質の高さの1.5倍以上の高さを有する有機系蒸着物質による成膜方法である。

請求項（抜粋）：

成膜対象基材に、有機系物質を抵抗加熱方式で加熱し蒸発させる成膜方法において、該抵抗加熱方式における抵抗加熱ボートの形状が、該有機系物質を含む蒸着物質を周辺から加熱する形状をしており、該蒸着物質の外寸の20%以上の距離をおいた外周から加熱させることを特徴とする有機系蒸着物質による成膜方法。

IPC (3件)：

C23C 14/12 ,  C23C 14/24 ,  G02B 1/10

FI (4件)：

C23C 14/12 ,  C23C 14/24 U ,  C23C 14/24 A ,  G02B 1/10 Z

Fターム (24件)：

2K009BB01 ,  2K009BB02 ,  2K009BB11 ,  2K009BB14 ,  2K009CC21 ,  2K009CC24 ,  2K009CC42 ,  2K009DD03 ,  2K009DD06 ,  2K009DD08 ,  2K009DD09 ,  2K009EE00 ,  2K009EE02 ,  2K009EE05 ,  4K029BA46 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BD00 ,  4K029DB12 ,  4K029DB18 ,  4K029EA01 ,  4K029EA02 ,  4K029EA09 ,  4K029KA02