研磨製品の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本勝徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-275082
公開番号（公開出願番号）：特開平10-118920
出願日： 1996年10月17日
公開日（公表日）： 1998年05月12日
要約：

【要約】【課題】被研磨体を歪ませることなく受台に固定することができるとともに、剥奪時に被研磨体に傷を生じさせたりすることなく歩留りよく被研磨体の研磨を行うことができる研磨製品の製造方法の提供を目的とする。【解決手段】表面に吸着性を有し、側面および裏面の少なくとも何れか一方から前記表面に連通する通孔を備えた吸着固定部材3を介して受台2上に吸着固定した被研磨体4の被固定面に研磨部材を押し当てて被研磨体4の被固定面を研磨し、研磨製品40を得た後、吸着固定部材3の側面または裏面の通孔入口側から表面側まで液体または気体を送り込み、液体または気体の圧力によって、吸着固定部材3から研磨製品40を剥奪する工程を備える方法とした。

請求項（抜粋）：

表面に吸着性を有し、側面および裏面の少なくとも何れか一方から前記表面に連通する通孔を備えた吸着固定部材を介して受台上に吸着固定した被研磨体の非固定面に研磨部材を押し当てて被研磨体の非固定面を研磨し研磨製品を得たのち、前記吸着固定部材の側面または裏面側の通孔の入口側から表面側まで気体または液体を送り込み、液体または気体の圧力によって吸着固定部材から研磨製品を剥奪する工程を備えていることを特徴とする研磨製品の製造方法。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/04 E , H01L 21/304 321 H

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-203233
特開昭61-249258
特開平4-267541

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