特許

J-GLOBAL ID：200903099210117522

鏡面検査方法およびその装置

発明者： 山本 隆弘
出願人/特許権者： 有限会社スインク
代理人 (1件)： 中川 國男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-211954
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028545
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 現在、技術的に困難なテーマとされている鏡面の欠陥として傷や異物の付着などの異常をシンプルで適切な照明により、安定した検査能力のもとに実行できるようにする。【解決手段】 鏡面検査装置1を用い、検査対象のワーク2の鏡面3に向けてカメラ4を配置するとともに、正常な鏡面3での正反射によってカメラ4の被写界となる領域に第1の拡散面照明5を配置し、また正常な鏡面3での正反射によってカメラ4の被写界とならない領域に第2の拡散面照明6を配置し、第1の拡散面照明5からの光で正常な鏡面3での正反射によってカメラ4に入射する光と第2の拡散面照明6からの光で欠陥部分での正反射によってカメラ4に入射する光との光特性の差から検査対象の鏡面3の欠陥を画像処理により検査する。

請求項（抜粋）：

検査対象のワークの鏡面に向けてカメラを配置すると共に、正常な鏡面での正反射によってカメラの被写界となる領域に第1の拡散面照明を配置し、また正常な鏡面での正反射によってカメラの被写界とならない領域に第1の拡散面照明と光学特性の異なる第2の拡散面照明を配置し、第1の拡散面照明からの光で正常な鏡面での正反射によってカメラに入射する光と第2の拡散面照明からの光で正常な鏡面と異なる面角度を有する欠陥部分での正反射によってカメラに入射する光との光特性の差から検査対象の鏡面の欠陥を検査することを特徴とする鏡面検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30

FI (2件)：

G01N 21/88 Z ,  G01B 11/30 Z

Fターム (37件)：

2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065BB03 ,  2F065BB05 ,  2F065BB25 ,  2F065CC03 ,  2F065CC19 ,  2F065CC21 ,  2F065CC37 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG12 ,  2F065GG23 ,  2F065HH02 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL24 ,  2F065MM22 ,  2F065NN02 ,  2F065QQ31 ,  2G051AA51 ,  2G051AA71 ,  2G051AA73 ,  2G051AA90 ,  2G051AB20 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051BB05 ,  2G051BB07 ,  2G051BB11 ,  2G051BC05 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-113639
  
• マクロ画像検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-110006   出願人：株式会社ニコン
• 特開昭62-085809