特許
J-GLOBAL ID:200903099215363335

感光性樹脂の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-085994
公開番号(公開出願番号):特開平6-298935
出願日: 1993年04月13日
公開日(公表日): 1994年10月25日
要約:
【要約】【構成】 特定のポリアミド酸エステルを製造するにあたり、テトラカルボン酸二無水物及び/又はテトラカルボン酸誘導体と、下記式のアルコール化合物、又は下記式のアルコール化合物及びメチルアルコール、エチルアルコール、プロピルアルコールの内の1種以上を含むアルコールとを反応させる際に、ポリスチレンゲルを支持体とする固定化触媒を用いてエステル化反応を行い、更にジアミン及び/又はジアミン誘導体を反応させる感光性樹脂の製造方法。【化1】【効果】 高分子量で高感度の感光性樹脂を極めて容易な操作で得ることができ、かつ反応から配合までの時間を大幅に短縮でき、工業的に有用な製造方法である。
請求項(抜粋):
(A)式(1)で示されるポリアミド酸エステルを製造するにあたり、【化1】(B)テトラカルボン酸二無水物及び/又はテトラカルボン酸誘導体と、(C)式(2)で示されるアルコール化合物、又は式(2)で示されるアルコール化合物及びメチルアルコール、エチルアルコール、プロピルアルコールの内の1種以上を含むアルコールとを反応させる際に、【化2】(D)ポリスチレンゲルを支持体とする固定化触媒を用いてエステル化反応を行い、更にジアミン及び/又はジアミン誘導体を反応させることを特徴とする感光性樹脂の製造方法。
IPC (7件):
C08G 73/10 NTF ,  C08F299/02 MRU ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/038 504 ,  H01L 23/29 ,  H01L 23/31
FI (2件):
H01L 23/30 D ,  H01L 23/30 R

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