特許
J-GLOBAL ID：200903099220717048
液晶表示体用基板の検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-109043
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285911
出願日： 1995年04月10日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 常に正確且つ確実に液晶表示体用基板の電気的検査を行なうことができるLCD用基板Sの検査装置を提供する。【構成】 本LCD用基板Sの検査装置10は、複数のLCD用基板Sが収納されたカセット内のLCD用基板Sを1枚ずつロード、アンロードする搬送装置14を有するローダ部11と、このローダ部11からのLCD用基板Sの電気的検査を行なうプローバ部12とを備え、上記カセットCに検査情報を表わすバーコード24を設けると共にローダ部11にバーコード24を読取る第1バーコードリーダ25を設け、且つLCD用基板Sにバーコード30を設けると共にカセットCからプローバ部12に至る搬送経路にバーコード30を読取る第2バーコードリーダ31を設け、第1、第2バーコードリーダ25、31の読取り内容に基づいて電気的検査を行なうことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
複数の液晶表示体用基板が収納されたカセット内の液晶表示体用基板を1枚ずつロード、アンロードする搬送装置を有するローダ部と、このローダ部からの液晶表示体用基板の電気的検査を行なうプローバ部とを備えた検査装置において、上記カセットに検査情報を表わす第1識別符号を設けると共に上記ローダ部に第1識別符号を読取る第1読取手段を設け、且つ上記液晶表示体用基板に第2識別符号を設けると共に上記カセットからプローバ部に至る搬送経路に第2識別符号を読取る第2読取手段を設け、第1、第2読取手段の読取り内容に基づいて電気的検査を行なうことを特徴とする液晶表示体用基板の検査装置。
IPC (7件)：
G01R 31/00
, G01R 31/26
, G01R 31/28
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
, H01L 21/66
, H01L 29/786
G01R 31/00
, G01R 31/26 J
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
, H01L 21/66 B
, G01R 31/28 K
, H01L 29/78 624
