特許
J-GLOBAL ID：200903099223817043
真空開閉機器の真空度監視装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-032012
公開番号（公開出願番号）：特開平5-062569
出願日： 1992年02月19日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】 真空度の変化に直接対応した変化を検出して常時真空度を確実に監視する。【構成】 発光部16と受光部17及び光ファイバ14,15を結合した光伝送路を真空開閉機器の真空バルブ1を通過させるようにし、受光部17の出力を真空度監視信号とする。
請求項（抜粋）：
真空開閉機器の真空部に光ファイバを介して発光部の入力を入射させると共に、真空部を通過した光ファイバを介して受光部で受光するよう光ファイバ結合した光伝送路を備え、上記受光部の出力を真空度監視信号としたことを特徴とする真空開閉機器の真空度監視装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
