特許
J-GLOBAL ID：200903099236909710

感光性セラミックス組成物

発明者：
山舗 智也

山舗 智也 について

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橋本 充代

橋本 充代 について

, 
上岡 武則

上岡 武則 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-317366
公開番号（公開出願番号）：特開2003-202662
出願日： 2002年10月31日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：
【要約】【課題】高周波領域において十分な特性を得ることができるようにするため、フォトリソグラフィー法を用いた高アスペクト比かつ高精細のビアホール形成が可能であることが必須である。そのためには露光光の透過性、直進性が高いことが必要であり、それに対応した感光性セラミックス組成物を提供する。【解決手段】無機粉末と感光性有機成分を必須成分とする感光性セラミックス組成物であって、該無機粉末表面の少なくとも一部に該無機粉末内層部分よりも屈折率の低い無機材料よりなる部分が形成されていることを特徴とする感光性セラミックス組成物。
請求項（抜粋）：
無機粉末と感光性有機成分を必須成分とする感光性セラミックス組成物であって、該無機粉末表面の少なくとも一部に該無機粉末内層部分よりも屈折率の低い無機材料よりなる部分が形成されていることを特徴とする感光性セラミックス組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/004 501 ,  C09C 1/00 ,  C09C 3/06 ,  G03F 7/09 501
FI (4件)：
G03F 7/004 501 ,  C09C 1/00 ,  C09C 3/06 ,  G03F 7/09 501
Fターム (22件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA00 ,  2H025CB43 ,  2H025CC08 ,  2H025CC20 ,  2H025FA29 ,  4J037AA08 ,  4J037AA10 ,  4J037AA11 ,  4J037AA18 ,  4J037AA24 ,  4J037AA25 ,  4J037AA30 ,  4J037EE03
引用特許：
出願人引用 (5件)
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