特許
J-GLOBAL ID：200903099241420398
プラズマ化学エッチング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂間 暁 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-222816
公開番号（公開出願番号）：特開平6-069160
出願日： 1992年08月21日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】 大形で良質のエッチングが得られるプラズマ化学エッチング装置を得る。【構成】 石英ガラス窓23を持つ真空容器21、同窓に対向して、真空容器内に配置される基板22、窓23に対向して真空容器外に設けられるアンテナ型放電用電極24、同電極に電力を供給する高周波電源26とを設ける。このように容器外部に電極を設け高周波電波で励起し良質で大形のエッチングを得る。
請求項（抜粋）：
誘電体製の窓を持つ真空容器と、同窓に対向して、同真空容器内に配置される基板と、上記窓に対向して上記真空容器外に設けられるアンテナ型放電手段と、同アンテナ型放電手段に電力を供給する高周波電源とを備えてなることを特徴とするプラズマ化学エッチング装置。
IPC (3件)：
H01L 21/302
, C23F 4/00
, C30B 33/12
