特許

J-GLOBAL ID：200903099244942050

液化ガス供給方法

発明者： 幸田 勇蔵
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 渡辺 敬介 ,  山口 芳広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-353488
公開番号（公開出願番号）：特開2006-161937
出願日： 2004年12月07日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：

【課題】 液化ガスをガス化させつつ供給しながら装置クリーニングを行う際、流量を大きく変動させる場合、特に急減させる場合において供給系配管内で再液化が発生しやすい問題があった。【解決手段】 容器に充填された液化ガスを、該容器を昇温する為の第1の加熱手段を使ってガス化し、該ガスを前記容器と第2の加熱手段を有する第1の配管により接続された希釈ガス混合器および混合ガス流量検出手段を経由させ、該流量検出手段と第3の加熱手段を有する第2の配管により接続された複数の分岐バルブのうち少なくとも1つ以上を通過させ、該複数の分岐バルブにそれぞれ接続された複数の第3の配管のうち少なくとも1つ以上を経由させて真空処理装置の複数の箇所へガスを導入する液化ガス供給方法において、前記第1の加熱手段もしくは第2の加熱手段もしくは第3の加熱手段のそれぞれの発生熱量を前記ガス流量検出手段の計測値に応じて制御する、または前記複数の分岐バルブのうち開いている数に応じて制御する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

容器に充填された液化ガスを、該容器を昇温する為の第1の加熱手段を使ってガス化し、該ガスを前記容器と第2の加熱手段を有する第1の配管により接続された希釈ガス混合器および混合ガス流量検出手段を経由させ、該混合ガス流量検出手段と第3の加熱手段を有する第2の配管により接続された複数の分岐バルブのうち少なくとも1つ以上を開けて通過させ、該複数の分岐バルブにそれぞれ接続された複数の第3の配管のうち少なくとも1つ以上を経由させて真空処理装置の複数の箇所へガスを導入する液化ガス供給方法において、前記第1の加熱手段の発生熱量を前記混合ガス流量検出手段の計測値に応じて制御することを特徴とする液化ガス供給方法。

IPC (4件)：

F17C 7/00 ,  C23C 16/44 ,  F17C 9/00 ,  F17C 13/02

FI (5件)：

F17C7/00 A ,  C23C16/44 J ,  F17C9/00 Z ,  F17C13/02 301Z ,  F17C13/02 302

Fターム (12件)：

3E072AA01 ,  3E072DB01 ,  3E072GA30 ,  3E073AA01 ,  3E073DB01 ,  3E073DC06 ,  3E073DC31 ,  4K030DA06 ,  5F045AA08 ,  5F045AC01 ,  5F045BB10 ,  5F045EG01

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平1-231936号公報
  
• 特開平2-77579号公報
  
• 液化ガス供給装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-024381   出願人：矢崎総業株式会社
• 特許第2909364号公報