半導体用樹脂ペースト及びそれを用いた半導体装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-050577
公開番号（公開出願番号）：特開2001-240657
出願日： 2000年02月28日
公開日（公表日）： 2001年09月04日
要約：

【要約】【課題】 IC製造において一般的なインライン硬化方式(ホットプレート硬化、HP硬化)、バッチ方式(オーブン硬化)両方で硬化が可能で、充分な接着力、低応力性を有し、ポットライフの長い接着用のペーストを提供する。【解決手段】 A)エポキシ樹脂、(B)フェノール硬化剤、(C)潜在性硬化剤、(D)シラン化合物、(E)有機ボレート塩及び(F)無機フィラーを必須成分とし、成分(A)100重量部に対し、成分(B)が20〜60重量部、成分(C)が0.5〜5重量部であり、かつ成分(A)(B)(C)の合計100重量部に対し、成分(D)が10〜60重量部、成分(E)が0.5〜20重量部である半導体用樹脂ペーストである。

請求項（抜粋）：

(A)エポキシ樹脂、(B)フェノール硬化剤、(C)潜在性硬化剤、(D)一般式(1)で示されるシラン化合物、(E)式(2)で示される有機ボレート塩及び(F)無機フィラーを必須成分とし、成分(A)100重量部に対し、成分(B)が20〜60重量部、成分(C)が0.5〜5重量部であり、かつ成分(A)、(B)、(C)の合計100重量部に対し、成分(D)が10〜60重量部、成分(E)が0.5〜20重量部であることを特徴とする半導体用樹脂ペースト。【化1】(R1はエポキシ基を有する脂肪族又は芳香族官能基、R2はアルコキシ基、R3はアルキル基又はアルコキシ基を表す。)【化2】

IPC (10件)：

C08G 59/72 , C08K 3/00 , C08K 5/13 , C08K 5/25 , C08K 5/315 , C08K 5/5435 , C08K 5/55 , C08L 63/00 , C09J163/00 , H01L 21/52

FI (10件)：

C08G 59/72 , C08K 3/00 , C08K 5/13 , C08K 5/25 , C08K 5/315 , C08K 5/5435 , C08K 5/55 , C08L 63/00 C , C09J163/00 , H01L 21/52 E

Fターム (94件)：

4J002CC022 , 4J002CC042 , 4J002CC052 , 4J002CC062 , 4J002CD011 , 4J002CD021 , 4J002CD041 , 4J002CD051 , 4J002CD061 , 4J002CD071 , 4J002CD131 , 4J002DA070 , 4J002DA090 , 4J002DF010 , 4J002DJ000 , 4J002DJ010 , 4J002DJ040 , 4J002ED056 , 4J002EE036 , 4J002EJ026 , 4J002EJ036 , 4J002EQ027 , 4J002ER027 , 4J002ET007 , 4J002EX068 , 4J002EY019 , 4J002FD010 , 4J002FD142 , 4J002FD146 , 4J002FD157 , 4J002FD159 , 4J002GJ01 , 4J002GQ05 , 4J036AB01 , 4J036AC02 , 4J036AC17 , 4J036AD07 , 4J036AD08 , 4J036AD10 , 4J036AE05 , 4J036AE07 , 4J036AF06 , 4J036AF08 , 4J036AF15 , 4J036AF16 , 4J036AJ09 , 4J036DB06 , 4J036DC31 , 4J036FA02 , 4J036FA04 , 4J036FA05 , 4J036FA11 , 4J036FA13 , 4J036FB08 , 4J036GA06 , 4J036JA06 , 4J040EB032 , 4J040EB052 , 4J040EC031 , 4J040EC061 , 4J040EC071 , 4J040EC081 , 4J040EC161 , 4J040EC261 , 4J040EC271 , 4J040HA066 , 4J040HA216 , 4J040HA296 , 4J040HA306 , 4J040HA356 , 4J040HB36 , 4J040HB38 , 4J040HC15 , 4J040HC16 , 4J040HD05 , 4J040HD35 , 4J040HD39 , 4J040JA05 , 4J040JB02 , 4J040JB10 , 4J040KA03 , 4J040KA16 , 4J040KA17 , 4J040KA42 , 4J040LA05 , 4J040LA06 , 4J040LA08 , 4J040LA09 , 4J040MA02 , 4J040NA20 , 5F047AA11 , 5F047BA34 , 5F047BA51 , 5F047BB11

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