回転カップ式処理装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲元富保 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-066288
公開番号（公開出願番号）：特開平7-275779
出願日： 1994年04月04日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：

【要約】【目的】被処理物表面に形成する被膜の厚さを均一にする。【構成】インナーカップ4を閉じると、アウターカップ2の排気通路20は常時真空ポンプによって吸引されているため、溝(隙間)7を介して気流発生空間S1内の空気は外側に引かれ図の矢印で示すような気流が発生する。そして、気流発生空間S1で発生した気流につれて処理室S2内の空気も矢印のように引かれ、処理室S2内は減圧され、塗布液中に溶解しているガスが除去される。ここで、処理室S2内の空気は、隙間18及び溝(隙間)7を介して排気通路20に間接的に排気されるため、処理室S2の減圧は均一に行われる。

請求項（抜粋）：

モータにて回転せしめられるインナーカップの外側にベースに固定されるアウターカップを配置し、このアウターカップにインナーカップの外周に沿った環状の排気通路を形成し、これらインナーカップ及びアウターカップを別々の蓋体にて閉塞するようにした回転カップ式処理装置において、前記インナーカップの蓋体の下面には整流板が取り付けられ、この整流板にてインナーカップ内の閉塞された空間は整流板上部の気流発生空間と整流板下部の処理空間に画成され、気流発生空間及び処理空間とアウターカップ内の空間とは、整流板端部とインナーカップ用蓋体との間の隙間、整流板の外周縁とインナーカップの内周面との間の隙間及びインナーカップ上端と蓋体下面との間の隙間を介して連通せしめられることを特徴とする回転カップ式処理装置。

IPC (5件)：

B05C 11/08 , G03F 7/16 502 , H01L 21/027 , H01L 21/306 , H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 564 C , H01L 21/306 R

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