特許
J-GLOBAL ID：200903099248572150
欠陥検出方法および欠陥検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 和郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-094606
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292365
出願日： 1999年04月01日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 検査体に複数形成された多数の検査対象物のそれぞれの良否の判定を短時間で精度よく行うことができる欠陥検出方法を提供する。【解決手段】 検査対象物を有する被検物を撮像する工程と、得られた画像データのうち、画素の濃淡に基づいて特定の部分を抽出し、その部分の座標データおよび濃度データを作成する工程と、座標データおよび濃度データに基づいて検査対象物のうち欠陥候補を抽出する工程と、画像データより欠陥候補およびその周辺部の画像データを切り出す工程と、切り出した画像データを画素間の補間により拡大する工程と、拡大された画像データに基づいて欠陥候補の良否を判定する工程とを含む。
請求項（抜粋）：
検査対象物を有する検査体を撮像する工程と、得られた画像データのうち画素の濃淡に基づいて特定の部分を抽出し、その部分の座標データおよび濃度データを作成する工程と、前記座標データおよび濃度データに基づいて前記検査対象物のうち欠陥候補を抽出する工程と、前記画像データより前記欠陥候補およびその周辺部の画像データを切り出す工程と、切り出した画像データを画素間の補間により拡大する工程と、拡大された画像データに基づいて前記欠陥候補の良否を判定する工程を含む欠陥検出方法。
Fターム (18件)：
2G051AA73
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CB02
, 2G051CD04
, 2G051DA01
, 2G051DA06
, 2G051EA01
, 2G051EA11
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EB01
, 2G051EB02
, 2G051EC03
, 2G051ED07
, 2G051ED15
