特許

J-GLOBAL ID：200903099255974779

移載装置

発明者： 荒川 修 ,  中村 明生
出願人/特許権者： 安藤電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-230240
公開番号（公開出願番号）：特開平8-078497
出願日： 1994年08月31日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】 デバイスの検査工程でデバイス移載時間や設備コストが最小限に抑えられる移載装置を提供する。【構成】 バーインボード1を収容するラック12、ハンドラボード2収容するラック11、並びにバーインボード上のIC100をハンドラボード2上に移載する、アーム6、7、X-Yロボット4、吸着ハンド5、並びにガイド部材10から構成される移載機構を有している。

請求項（抜粋）：

少なくとも2つの検査工程を行うデバイス(100) を一方の検査用の専用ボード(1,2) から他の検査用の専用ボード(2,1) に移載するために使用される移載装置であって、前記一方の検査用の専用ボード(1,2) を収容する第1のラック(11)と、前記他の検査用の専用ボード(2,1) を収容する第2のラック(12)と、前記一方の検査用の専用ボード上のデバイス(100) を前記他方の検査用の専用ボード上に移載する移載機構(4,5,6,7,10)とを備えることを特徴とする移載装置。

IPC (6件)：

H01L 21/66 ,  B65G 1/00 535 ,  B65G 60/00 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/68