特許
J-GLOBAL ID：200903099259548774
温湿度調整装置及び基板処理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-036825
公開番号（公開出願番号）：特開2002-246284
出願日： 2001年02月14日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：
【要約】【課題】 塗布、現像装置へ温湿度調整された空気を供給するための温湿度調整装置において、温湿度調整装置をオフ状態にしてから再びオン状態にしたときの、当該装置の立ち上がり時間を短縮すること。【解決手段】 内部に空気が通気する温湿度調整容器と、この内部に設けられ、内部の水を加熱することにより水蒸気を発生させる加湿容器と、前記加湿容器の開口部を塞ぐ蓋体と、空気を加熱することにより当該空気の温度を調整する加熱部とにより温湿度調整装置を構成する。塗布、現像装置に温度湿度調整された空気を通気させないとき(オフ状態)には、前記蓋体により加湿容器の開口部を塞ぎ、この容器からの水蒸気の飛散を抑え、当該容器内が高湿度状態になることを抑える。これにより再び当該装置をオン状態にしたときに装置の立ち上がり時間が短縮される。
請求項（抜粋）：
空気の通気路に設けられ、内部に空気が通気する温湿度調整容器と、前記温湿度調整容器の内部に設けられ、水蒸気を発生させることにより空気の湿度を調整する加湿部と、前記温湿度調整容器の内部に設けられ、空気を加熱することにより当該空気の温度を調整する加熱部と、を備え、前記温湿度調整容器内に空気を通気させ、この空気を前記加湿部及び加熱部により所定の温度及び/又は湿度に調整する温湿度調整装置において、前記加湿部は、内部の水を加熱することにより水蒸気を発生させる加湿容器と、前記加湿容器の開口部を塞ぐ蓋体と、を備え、前記通気路に温度及び/又は湿度が調整された空気を通気させないときには、前記蓋体により加湿容器の開口部を塞ぎ、この加湿容器からの水蒸気の飛散を抑えることを特徴とする温湿度調整装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G03F 7/30
, H01L 21/30 562
, H01L 21/30 564 C
, H01L 21/30 569 C
2H096AA25
, 2H096GA60
, 5F046JA07
, 5F046JA22
, 5F046JA24
, 5F046LA07
, 5F046LA13
, 5F046LA18
