特許
J-GLOBAL ID：200903099261178860
異物検査方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-006620
公開番号（公開出願番号）：特開平11-201909
出願日： 1998年01月16日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】 異物検査においてブルーミングの発生を低減して異物検出の信頼性を向上させる。【解決手段】 半導体ウエハ1を支持するステージ7と、半導体ウエハ1にレーザ光4を照射する光源5を備えた光学系6と、半導体ウエハ1上のパタン3に対応させて遮断膜が形成された回折光遮断フィルタ13と、半導体ウエハ1からの反射光8を2つに分割するビームスプリッタ11と、分割後の一方の反射光8のTDIセンサ9への進入光量を調節するNDフィルタ12と、分割後の2つの反射光8を検出する2つのTDIセンサ9と、2つのTDIセンサ9によって検出された2つの反射光8の信号を加算する加算回路10と、加算回路10による加算信号を予め登録された基準信号と比較し、比較結果が許容範囲を越えた際に反射光8が異物2によるものと判定する差分回路16および比較回路17とからなる。
請求項（抜粋）：
被検査物に付着した異物を検出する異物検査方法であって、前記被検査物に光を照射してその反射光を複数に分割する工程と、前記分割された複数の反射光にそれぞれ対応させた複数の光検出手段によってそれぞれの反射光を検出する工程と、前記複数の光検出手段によって検出されたそれぞれの反射光の信号を加算し、この加算された前記反射光の加算信号を予め登録された基準信号と比較する工程とを有し、前記比較による比較結果が許容範囲を越えた際に前記反射光が前記異物によるものと判定して前記異物を検出することを特徴とする異物検査方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 21/88 E
, H01L 21/66 J
, H01L 21/66 Z
