特許
J-GLOBAL ID：200903099264767115
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
亀谷 美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-117927
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308163
出願日： 1993年04月20日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 省コスト、配線の最適化、さらにインピーダンス整合を図ることができるプローブ針とプローブカード基台との接続構造を提供する。【構成】 本発明によれば、被検査基板の測定用電極に電気的に接触し試験信号を送受信するためのプローブ針と、外部テスタと電気的に接続し試験信号を送受信するためのプローブカード基台とを備えたプローブ装置において、前記プローブ針と前記プローブカード基台との接続が補助基台を介して行われる。その結果、プローブカード基台を汎用化し、補助基台を専用化することにより省コストと配線の最適化を同時達成できる。また、補助基台において特性インピーダンス整合を行う構成とすることも可能である。さらに、本発明を垂直型プローブ針構造に適用した場合には従来のアーチ部分のインダクタンスの影響を回避することができる。
請求項（抜粋）：
被検査基板の測定用電極に電気的に接触し試験信号を送受信するためのプローブ針と、外部テスタと電気的に接続し試験信号を送受信するためのプローブカード基台とを備えたプローブ装置において、前記プローブ針と前記プローブカード基台との接続を補助基台を介して行うことを特徴とするプローブ装置。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
