特許

J-GLOBAL ID：200903099265034405

環状の背骨を有する感光性ポリマ-及びこれを含むレジスト組成物

発明者： 崔 相 俊 ,  鄭 東 垣 ,  李 始 炯
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 萩原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-364811
公開番号（公開出願番号）：特開2000-191732
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2000年07月11日
要約：

【要約】【課題】 乾式食刻に対する耐性を十分に確保できる環状の背骨を有する感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物を提供すること。【解決手段】 (a) 化学増幅型レジストに用いられる次の式を有する感光性ポリマーと、【化1】式中、R1はC7〜C20の脂環式族炭化水素であり、R2及びR4は各々C1〜C7の脂肪族炭化水素であり、R3及びR5は各々水素原子またはメチル基であり、R6は水素原子または2-ヒドロキシエチル基であり、p/(p+q+r+s)=0.1〜0.5、q/(p+q+r+s)=0.1〜0.5、r/(p+q+r+s)=0.0〜0.5、s/(p+q+r+s)=0.01〜0.5、p+q+r+s=1.0である。(b) PAG(photoacid generator)とで構成される。

請求項（抜粋）：

化学増幅型レジストに用いられる次の式を有する感光性ポリマー。【化1】式中、R1はC7〜C20の脂環式族炭化水素であり、R2及びR4は各々C1〜C7の脂肪族炭化水素であり、R3及びR5は各々水素原子またはメチル基であり、R6は水素原子または2-ヒドロキシエチル基であり、p/(p+q+r+s)=0.1〜0.5、q/(p+q+r+s)=0.1〜0.5、r/(p+q+r+s)=0.0〜0.5、s/(p+q+r+s)=0.01〜0.5、p+q+r+s=1.0である。

IPC (6件)：

C08F220/18 ,  C08F236/20 ,  C08K 5/36 ,  C08L 33/06 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

C08F220/18 ,  C08F236/20 ,  C08K 5/36 ,  C08L 33/06 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R