欠陥位置を呼び出す方法およびそれを適用した装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-200041
公開番号（公開出願番号）：特開2000-031233
出願日： 1998年07月15日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】画面上でセルピッチを指定し、セル個数での指定位置の呼び出しを容易にする。【解決手段】観察時に画像処理系に取り込んだマット部の画像からセルのピッチを指示し、さらに移動量をセルの個数で指定し、その個数にセルのピッチを乗じた距離だけ視野を移動することにより所望のセルを視野内に呼び出すようにして、作業者の手動作業をを支援する。

請求項（抜粋）：

繰り返しパターンを有する基板試料上の所望位置を呼び出す方法において、a)複数の繰り返しパターンを含む視野の画像を画像処理系に取り込み(取り込み画像)、b)繰り返しパターンの繰り返し周期を求め、c)所望の位置までの繰り返し周期回数を指定し、d)繰り返し周期回数と繰り返し周期の積を計算して所望の移動量を求め、e)前記移動量だけ視野を移動させる、手順を実行することを特徴とする欠陥位置呼び出し方法。

IPC (2件)：

H01L 21/66 , G01N 21/88

FI (2件)：

H01L 21/66 Z , G01N 21/88 F

Fターム (25件)：

2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AB01 , 2G051AC02 , 2G051BA10 , 2G051BA20 , 2G051BB05 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CA11 , 2G051CB01 , 2G051DA07 , 2G051EA08 , 2G051EA14 , 2G051EC03 , 2G051FA01 , 4M106CA41 , 4M106CA50 , 4M106CA52 , 4M106DJ04 , 4M106DJ05 , 4M106DJ15 , 4M106DJ20 , 4M106DJ21 , 4M106DJ23

前のページに戻る