特許
J-GLOBAL ID：200903099270820052
回路配線基板の検査装置およびその検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-041333
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140209
出願日： 1994年03月11日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 回路配線基板検査装置に関し、非接触で任意の被試験パッド間の導通/絶縁の良否試験を高速に行うことを目的とする。【構成】 光導電シート7と、該光導電シート7上に設けられ、光導電シート励起用光源3からの照射光30の形状を制御して、該光導電シート7に第1の導電性パス71および第2の導電性パス72を形成する光透過パターン制御手段6,5と、回路配線基板9における第1の被試験パッドINと前記第1の導電性パス71の一端の導通を制御する第1のレーザプラズマスイッチ制御手段1,11 と、前記回路配線基板9における第2の被試験パッドOUTと前記第2の導電性パス72の一端の導通を制御する第2のレーザプラズマスイッチ制御手段2,21 と、前記第1の導電性パス71の他端と前記第2の導電性パス72の他端との間の抵抗値を測定する抵抗測定手段104,105 とを具備するように構成する。
請求項（抜粋）：
配線パターン及び複数のパッドを有するネット群を多数備え回路配線基板を検査する回路配線基板の検査装置であって、該検査装置は、当該回路配線基板を保持する基板保持手段、該基板保持手段に保持されている該回路配線基板と所定の間隔を隔てて配置されており、且つ当該回路配線基板に設けられている、一つの配線部に於ける第1の被試験パッド位置と対応する位置と、第1の電源との間に第1の導電性パスを形成すると共に、当該回路配線基板に設けられている、他の配線部に於ける第2の被試験パッド位置と対応する位置と、第2の電源との間に第2の導電性パスを形成する導電性パス形成手段を有する、該回路配線基板の電気的特性検出手段、及び該第1の被試験パッドと該第1の導電性パスとの間の第1の空間部及び該第2の被試験パッドと該第2の導電性パスとの間の第2の空間部にレーザを照射して、該第1と第2の空間部に導電性を付与するレーザプラズマスイッチ制御手段、とから構成されたものであり、更に、該電気的特性検出手段は、該第1と第2の導電性パスの何れか一方に接続された電気的特性値サンプリング手段を有するものである事を特徴とする回路配線基板の検査装置。
IPC (3件)：
G01R 31/302
, G01R 31/02
, H01L 21/66
