光量調整フィルタとその製造方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石原勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-256213
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104407
出願日： 1996年09月27日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】 CRTの蛍光体等を露光する場合に使用する光量調整フィルタにおいて、その製造時間の短縮と光量分布の高精度化を図る。【解決手段】光源1からの光を集光した集光ビームスポットを回転テーブル8と走査手段4にて螺旋状または同心円状に走査することにより、ほぼ透明なガラス基板の表面に光源1の波長に感光する感光体が塗布された乾板7を露光し、露光する線束の粗密を制御することにより、任意の高精度な透過光量分布を持つ光量調整フィルタを短時間で製造する。

請求項（抜粋）：

ほぼ透明な基板と、基板上に形成された螺旋状又は同心円状の透過率の低い物質とから成り、透過率の低い物質で形成されたパターンの粗密により透過光量を変化させたことを特徴とする光量調整フィルタ。

IPC (3件)：

G02B 5/00 , G03F 7/20 , H01J 9/227

FI (3件)：

G02B 5/00 A , G03F 7/20 , H01J 9/227 B

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