特許

J-GLOBAL ID：200903099292733986

球面回折格子による収束光入射型分光装置

発明者： 鈴木 章二
出願人/特許権者： 東北大学長
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-281057
公開番号（公開出願番号）：特開2000-111405
出願日： 1998年10月02日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】 主に紫外線、真空紫外線、軟X線領域で使用される分光系において、収差の大きい斜入射に対し、対象波長全領域で、光路方程式のデフォーカス項およびコマ項を零とし、さらに高次の収差項も低減する。【解決手段】 回転可能の球面回折格子(3)と、球面回折格子(3)に収束光(2)を入射するための収束鏡(6)と、球面回折格子(3)からの出射光を検出するための回転可能な出射スリット(5)を具備する収束光入射型分光装置。ここで、球面回折格子における光路方程式の回折の条件は、1/k = SIN β(COSα+cosβ) /(SINα COS2 β+ COS 2 α SINβ)1/k'= SIN α(COSα+cosβ) /(SINα COS2 β+ COS 2 α SINβ)により規定される。

請求項（抜粋）：

回転可能の球面回折格子と、前記球面回折格子に収束光を入射するための収束鏡と、前記球面回折格子からの出射光を検出するための回転可能な出射スリットを具備することを特徴とする収束光入射型分光装置。

Fターム (7件)：

2G020AA05 ,  2G020AA06 ,  2G020BA18 ,  2G020CA01 ,  2G020CB04 ,  2G020CC05 ,  2G020CC42

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 改良型コンセントリックスペクトログラフ、光を分散する方法および2本の光ビームを回折する方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-048359   出願人：インストゥルメンツエス.エイ.,インコーポレイテッド
• 特開昭58-038845
  
• 特開昭56-137232
  
• 特開昭59-046825