特許
J-GLOBAL ID：200903099301373726
気体の励起装置及び励起方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森田 憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-333978
公開番号（公開出願番号）：特開2004-167315
出願日： 2002年11月18日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：
【課題】気体を効率よく励起させ、解離やイオン化させて低温プラズマを高効率で発生させることができる気体の励起装置及び励起方法を提供する。【解決手段】気体励起装置10は、被処理気体の流入用開口部2と処理済み気体の排出用開口部3とを有するハウジング1内に、交流電源と接続する少なくとも1対の電極4A,4Bを備え、(1)前記電極の一方が、芯電極と、その芯電極の周囲を包囲する絶縁体鞘体とからなり、その絶縁体鞘体の外側表面が被処理気体と接触する保護電極であり、(2)もう一方の電極が露出して、被処理気体と直接に接触する露出電極であり、そして(3)前記露出電極と前記ハウジングとが共にアースされている。励起方法は、前記ハウジング1内に被処理気体を通過させて実施する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
被処理気体の流入用開口部と処理済み気体の排出用開口部とを有するハウジング内に、交流電源と接続する少なくとも1対の電極を備えた気体励起装置であって、
(1)前記電極の一方が、芯電極と、その芯電極の周囲を包囲する絶縁体鞘体とからなり、その絶縁体鞘体の外側表面が被処理気体と接触する保護電極であり、
(2)もう一方の電極が露出して、被処理気体と直接に接触する露出電極であり、そして
(3)前記露出電極と前記ハウジングとが共にアースされている
ことを特徴とする、気体の励起装置。
IPC (4件)：
B01J19/08
, A61L9/00
, A61L9/22
, H05H1/24
B01J19/08 E
, A61L9/00 C
, A61L9/22
, H05H1/24
4C080AA07
, 4C080BB02
, 4C080CC01
, 4C080QQ20
, 4G075AA03
, 4G075AA37
, 4G075BA05
, 4G075BD14
, 4G075BD24
, 4G075CA13
, 4G075DA02
, 4G075EB01
, 4G075EB41
, 4G075EC06
, 4G075EC21
, 4G075EE02
, 4G075FB02
, 4G075FC15
