特許
J-GLOBAL ID：200903099304244153
流量センサー及び流量検出装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹内 三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-193424
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028411
出願日： 1998年07月08日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：
【要約】【課題】 応答速度をより高速化し、測定精度をより高精度とし、腐食、変形をも解消し、しかも、より小型化し、製造コストも十分削減することができる流量センサー及び流量検出装置を提供する。【解決手段】 基板4の一端部に直接、発熱体9及び感温体13を形成した流量検知部2と、基板4の一端部に直接、感温体15を形成した温度検知部3と、出力端子5,6とを有し、基板4の一部及び出力端子5,6の一部をモールディングによる被覆部材7により被覆してなる流量センサー1を設ける。流量センサー1をケーシング52に穿設したセンサー挿入孔59に収容して流量検出装置51を構成する。
請求項（抜粋）：
薄膜リード線を形成した基板と、この基板の一端部に直接、発熱体及び感温体を形成した流量検知部と、前記基板の一端部に直接、感温体を形成した温度検知部と、出力端子とを有し、前記流量検知部、前記温度検知部及び前記薄膜リード線の一部を被覆するように前記基板に耐水性、絶縁性を有する保護膜を形成するとともに、前記基板の一部及び前記出力端子の一部をモールディングによる被覆部材により被覆したことを特徴とする流量センサー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
前のページに戻る
