特許
J-GLOBAL ID：200903099315825190
モザイクターゲット及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-132429
公開番号（公開出願番号）：特開平7-316801
出願日： 1994年05月24日
公開日（公表日）： 1995年12月05日
要約：
【要約】【目的】 固相接合モザイクターゲットにおいて、熱膨張差により生じる剪断応力を緩和し、材料の変形や固相接合中或いはその後の加工工程において接合界面での剥離を防止する技術の確立。【構成】 複数の異種材料のピース1、2から構成されるモザイクターゲットにおいて、隣り合う異種材料のピースの接合面3が互いに嵌合し合う凹凸段差4を有しそして該凹凸段差を有する接合面に沿って互いに固相接合していることを特徴とするモザイクターゲット及びその製造方法。熱膨張率の大なるピースの膨張を熱膨張率の小なるピースの凸部または凹部の側辺により拘束しつつ固相接合することにより熱膨張差により生じる剪断応力を緩和し、接合界面での剥離を防止する。
請求項（抜粋）：
複数の異種材料のピースから構成されるモザイクターゲットにおいて、隣り合う異種材料のピースの接合面が互いに嵌合し合う凹凸段差を有しそして該凹凸段差を有する接合面に沿って互いに固相接合していることを特徴とするモザイクターゲット。
IPC (2件)：
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